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当然，此时的绝大部分记者们并不知道如果想要生产90纳米和65纳米芯片。
其实不一定需要采用第5代浸没式光刻机技术，直接研发采用第四代的arf干式光刻机技术也行。
因为第四代的arf干式光刻机的光源波长是193n这193n源波长理论上最高是能生产65纳米芯片的。
但做事不能考
《大国科技从山寨开始》第277章 euv光刻机与duv光刻机！ 正在手打中，请稍等片刻，
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